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| 研究生： |
何煒基 Ho, Wei-Gei |
|---|---|
| 論文名稱： |
低應力電漿增強式化學氣相沉積薄之研製 A Study and Fabrication of Low Streee Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Films |
| 指導教授： |
黃瑞星
Huan, Rue-Shing |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 63 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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