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研究生： 張志偉
C. W. Chang
論文名稱： 電感式電漿源電子非區域性加熱之二維模型
Two-Dimensional Modeling of Nonlocal Electron Heating in Inductively Coupled Plasma Sources
指導教授： 胡瑗 博士
Y. Hu
林滄浪 博士
T. L. Lin
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 原子科學院 - 工程與系統科學系
Department of Engineering and System Science
畢業學年度： 87
語文別： 中文
論文頁數： 105
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