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| 研究生： |
高竹余 Kao, Chu-yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
阻擋層與金屬後退火處理對鰭式電晶體之可靠度影響研究 Effects of Barrier Layer and Post-metal Annealing on Reliability Property in FinFET |
| 指導教授： |
張廖貴術
ChangLiao, Kuei-Shu |
| 口試委員: |
吳永俊
Wu, Yung-Chun 趙天生 Chao, Tien-Sheng |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2019 |
| 畢業學年度： | 107 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 77 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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