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| 研究生： |
李豪捷 Hao Chieh Li |
|---|---|
| 論文名稱： |
化學乾式蝕刻及N2O氣體退火對SONOS快閃記憶體元件的影響 Chemical Dry Etching and N2O anneal on SONOS Flash Memory Devices |
| 指導教授： |
張廖貴術
Kuei-Shu Chang-Liao |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 121 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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