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研究生: 吳宣儀
Wu, Hsuan-Yi
論文名稱: 模糊不明確問題的系統化解決手法 :以半導體製程問題為例
Innovative problem solving methodology for Fuzzy ill-defined Problems for Semiconductor Process
指導教授: 許棟樑
Sheu, Dong-Liang
口試委員: 楊敏聰
Yang, Miin-Tsong
饒忻
Rau, Hsin
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 工業工程與工程管理學系碩士在職專班
Industrial Engineering and Engineering Management
論文出版年: 2018
畢業學年度: 106
語文別: 中文
論文頁數: 122
中文關鍵詞: 萃智KT式理性思考法系統性創新問題解決流程基於屬性的因果衝突鏈分析
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  • 本研究主要目的是協助改善合作廠商P公司於半導體製程中,所面臨到問題,而須重新加工以致成本增加,企業蒙受損失的問題。
    本研究將KT(Kepner & Tregoe)理性思考法加入萃智解決程序中,讓整個系統擴充為六個階段:(0)狀況評估、(1)問題定義、(2)問題分析、(3)解答產生、(4)解答選擇與整合、(5)解答驗證,幫助使用者利用KT,從模糊的現象中找到問題的徵結點,並透過萃智工具輔助有效地解決。研究如何利用KT式理性思考法進行問題評估,並從複雜、模糊的狀況中,找出明確的問題,分析細部現象,再配合檢視流程、建立假說與驗證,確切辨識問題的徵結點、找出系統錯誤位置,接著整合、比較問題分析出來的是與不是(Is, Is not),清楚描述偏差現象、釐清可能疑點,並且評估解答之成本與風險去找出最佳解答。本研究貢獻包含:(1)提供納入KT式理性思考法的萃智系統,協助解決於複雜、模糊之表徵狀況下所遇到的產業問題;以狀況去評估系統錯誤的問題癥結點,再加以解題,並進行負面評估, (2)提出KT主觀評分決策 (3)在模糊問題上應用參數處理方法,大大提高了解決方案的數量和質量。


    The main purpose of this research is to help improve the problems faced by the participative P company. This research integrated KT (Kepner & Tregoe) method and TRIZ tools for problem solving. The process includes six steps: (0) Situation Appraisal; (1) Problem Definition; (2) Problem Analysis; (3) Solution Generations; (4) Solution Selection and Integration; and (5) Solution Verification. This structured process can help problem solvers convert murky surface problems to the failure points, and then to critical key disadvantage(s) effectively. To make up the front-end process for solving murky, complex problems. The process modifies “Situation Appraisal” of the KT method with backward process reviews and added failure hypothesis to identify the failure point(s). The process further adopted “Is, Is not” method to clarify problem and “Risk Analysis” to select solutions.
    The contributions of this research include: 1) Integrating KT method into an existing TRIZ process to help analyze a company’s real-world murky, complex problems more effectively; 2) Proposed KT subjective scoring decision; 3)Applying parameter manipulation methods on the murky problem to greatly enhance the solution quantity and quality.

    摘要 I ABSTRACT II 圖目錄 VI 表目錄 VII 第一章 緒論 1 1.1 研究背景與動機 1 1.2 研究目的 2 1.3 論文架構 2 第二章 文獻探討 4 2.1 萃智系統性創新理論 4 2.2 KT式理性思考法 5 2.2.1 狀況評估(Situation Appraisal) 7 2.2.2 問題分析(Problem Analysis) 8 2.2.3 決策分析(Decision Analysis) 9 2.2.4 潛在問題分析(Potential Problem Analysis) 10 2.2.5 小結 11 2.3 問題分析工具 11 2.3.1 功能分析(FA) 11 2.3.2 因果衝突鏈分析(CECCA) 13 2.4 解答產生工具 14 2.4.1 衝突矩陣/發明原則(CM/IP) 14 2.4.2 功能導向搜尋(FOS) 15 2.4.3 分離原則與系統轉移(Separation/Transition Principles) 16 2.4.4 減加換法(Subtraction、Addition、Substitution, SAS) 17 2.4.5 物(質)場分析(Su-Field Analysis) 18 2.4.6 元件修剪設計(Device Trimming) 20 2.4.7 特徵轉移(Feature Transfer) 21 2.5 解答選擇與整合工具 22 2.5.1 普氏矩陣(Pugh Matrix) 22 2.5.2 超效應分析(Super-Effect Analysis) 24 2.6 解答驗證工具—虛擬驗證 25 第三章 研究方法 26 3.1 問題解決流程 26 3.2 「狀況評估」階段 28 3.3 「問題定義」階段 34 3.4 「問題分析」階段 35 3.4.1 功能分析 35 3.4.2 基於屬性的因果衝突鏈分析 36 3.5 「解答產生」階段 42 3.5.1 衝突矩陣/發明原則 42 3.5.2 功能導向搜尋與知識資料庫搜尋 43 3.5.3 分離原則/系統轉移 45 3.5.4 減加換法 46 3.5.5 物(質)場分析 47 3.5.6 元件修剪設計 48 3.5.7 特徵轉移 48 3.6 「解答選擇與整合」階段 50 3.6.1 解答評估 50 3.6.2 解答擴張 52 3.7 「解答驗證」階段 54 第四章 研究案例 56 4.1 半導體晶圓製程白斑問題 56 4.1.1 「狀況評估」階段 57 4.1.2 「問題定義」階段 68 4.1.3 「問題分析」階段 70 4.1.3.1 功能分析 70 4.1.3.2 基於屬性的因果衝突鏈分析 71 4.1.4 「解答產生」階段 75 4.1.4.1 衝突矩陣/發明原則 75 4.1.4.2 功能導向搜尋與知識資料庫搜尋 76 4.1.4.3 參數操作 79 4.1.4.4 減加換法 97 4.1.4.5 物(質)場分析 98 4.1.4.6 元件修剪設計 99 4.1.4.7 特徵轉移 104 4.1.4.8 概念解集合 106 4.1.5 「解答選擇與整合」階段 108 4.1.5.1 解答評估-普氏矩陣 108 4.1.6 「潛在問題分析」階段 111 4.1.7 「解答驗證」階段 114 第五章 結論與未來研究方向 116 5.1 成果與貢獻 116 5.2 未來研究方向 117 參考文獻 118

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