研究生: |
彭國光 Kuoguang Perng |
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論文名稱: |
微波電漿化學氣相沉積法之鑽石薄膜的成長與特性研究 Study on bias-enhanced nucleation and growth of diamond films by microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition method |
指導教授: |
劉國雄
Kuo-Shung Liu 林諭男 I-Nan Lin |
口試委員: | |
學位類別: |
博士 Doctor |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
論文出版年: | 2002 |
畢業學年度: | 90 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 238 |
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