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| 研究生： |
王文俊 Wang, Wen Chun |
|---|---|
| 論文名稱： |
鉭矽氮化物在鋁矽系統擴散障礙之研究 The Study of Tantalum-based Diffusion Barriers between Al and Si |
| 指導教授： |
葉鳳生
Yeh Fon Shan |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 82 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 144 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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