研究生: |
陳弘侑 Chen, Hung-Yu |
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論文名稱: |
CMOS-MEMS共振式電容換能器平台開發與雙間隙CMUT陣列之實現 Platform Development of CMOS-MEMS Capacitive Resonant Transducer and Implementation of Dual-Gap CMUT Array |
指導教授: |
李昇憲
Li, Sheng-Shian |
口試委員: |
方維倫
Fang, Wei-Leun 邱一 Chiu, Yi 李夢麟 Li, Meng-Lin 李尉彰 Li, Wei-Chang 吳名清 Wu, Ming-Ching 王昱欣 Wang, Yu-Hsin |
學位類別: |
博士 Doctor |
系所名稱: |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
論文出版年: | 2024 |
畢業學年度: | 112 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 255 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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