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| 研究生： |
陳忠賢 Chung-Hsien Chen |
|---|---|
| 論文名稱： |
銅/鉭基擴散障礙層與低介電係數材料之製程整合 The Process Integration of Cu/Ta-based barriers/Low-k Materials |
| 指導教授： |
葉鳳生
Fon-Shan Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 92 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 117 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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