研究生: |
鄭吉成 |
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論文名稱: |
雙層光阻材料回溫形成微透鏡之製程 |
指導教授: |
賀陳弘
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口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
論文出版年: | 2002 |
畢業學年度: | 90 |
語文別: | 中文 |
中文關鍵詞: | 光阻 、回溫 、微透鏡 |
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微透鏡應用在光纖通訊上越來越廣泛,微透鏡發展出許多製造方法,其中大部分昂貴且費時。本研究中的製造方法不僅省時而且可以製作出接近球狀的微透鏡。為了瞭解微透鏡成形的參數作用,探討直徑、聚合物和光阻的厚度、回溫時間與溫度等條件對於微透鏡幾何形狀的影響。實驗結果顯示,若以形成球狀而言,深寬比大約5比3、聚合物厚度大且回溫溫度僅需在特定溫度以上,便能形成微球透鏡。曲率半徑之檢測可經由簡單的影像處理來得到。
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