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| 研究生： |
陳定璿 Chen, Ding-Xuan |
|---|---|
| 論文名稱： |
異常偵測模型應用於碳化矽晶圓拋光之破片檢測系統 Application Anomaly Detection Model in Monitoring System for Polishing Station of Silicon Carbide Wafers |
| 指導教授： |
葉哲良
Yeh, J. Andrew |
| 口試委員: |
鄭志鈞
Cheng, Chih-Chun 蔡孟勳 Tsai, Meng-Hsun 程文男 Cheng, Wen-Nan 江振國 Chiang, Chen-Kuo 李奇澤 Li, Chi-Tze |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 117 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2027/04/18 (校內網路)全文公開日期 2027/04/18 (校外網路)
全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)