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| 研究生： |
王永欣 Yeong-Shing Wang |
|---|---|
| 論文名稱： |
電漿增強式化學氣相沈積低應力薄膜與厚犧牲層之研究 A Study of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Low Stress Thin Films and Thick Sacrificial Layers |
| 指導教授： |
黃瑞星教授
Prof. Ruey-Shing Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 54 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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