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| 研究生： |
柯期友 Chi-Yu Ko |
|---|---|
| 論文名稱： |
低溫光輔助化學蝕刻技術在矽鍺超晶格結構 The application of photo-assisted cryogenic etching in SiGe strain-layers superlattice |
| 指導教授： |
黃惠良
Huey-liang Hwang 張鼎張 Ting-Chang Chang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 55 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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