簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
黃文社 Huang, Wen-sheh |
|---|---|
| 論文名稱： |
高非等向性射頻電漿深蝕刻技術之研究 Highly Anisotropic RF Plasma Silicon Deep Trench Etching |
| 指導教授： |
黃瑞星
R.S. Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 73 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)