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| 研究生： |
許世南 Xu, Shi-Nan |
|---|---|
| 論文名稱： |
離子佈植矽晶中固有磊晶成長及殘留缺陷的微結構及電性之研究 Microstructural and electrical study of solid phase epitaxial regrowth and residual defects in ion implanted silicon |
| 指導教授： |
陳力俊
Chen, Li-Zun |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 79 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 200 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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