摘　　要
研究結果顯示，一般的清洗槽在使用水系溶劑清洗高深寬比微通孔上仍有其效果，但本文使用的超音波喇叭系統，在清洗效果上優於一般的清洗槽，在清洗鑽孔後的膠渣上，超音波喇叭系統能有效的清洗膠渣，一般的清洗槽雖可去除膠渣，但效果上仍不如超音波喇叭清洗系統。在利用攝影觀察超音波清洗時，可看出超音波清洗機制可能為空蝕與聲場流效應，且在清洗過程中，可看出毛細管內有氣泡成長的情形，可增加清洗的效果。當微通孔靠近超音波喇叭頭時，由於靠近喇叭頭時有較大的聲壓與聲強，可有較好的清洗效果；而在高溫時由於液體內氣泡溶解量較少，可能使得空蝕效應產生機率降低，因而清洗的效果較差；適當電功率輸出對清洗有較好的結果，但最佳值仍須針對實際使用條件進一步的研究，而在清洗角度參數下，圓孔中心線與喇叭頭中心線夾角越小情況下，有較好的清洗速率，而且在不同毛細管孔徑大小與相同的毛細管長度下，孔徑越小清洗時間越長，以20kHz超音波喇叭清洗下，89μm清洗時間比200μm多了約120秒；在使用除氣水清洗時，由於水中氣體含量較少，雖然仍有空蝕效應，但和一般自來水相比下，清洗時間仍是慢了約5秒。
超音波喇叭系統以一般的自來水作為清洗液，清洗非水溶性切削油時，在很短清洗時間作用下，可將90μm~200μm孔徑且深寬比在160到220的圓孔，以螢光檢驗分析的潔淨度於五秒內可達90%，潔淨度二十秒內可達95%以上。故以本實驗超音波系統在具有高深寬比的微通孔上，的確能有效達成高潔淨效果，且在不使用化學藥劑下，達成綠色洗淨的清洗訴求。但在質譜檢驗分析結果上，由於清洗後毛細管內切削油污染物估計遠少於0.1μl，且自來水內有機物所造成的影響，無法有正確的分析結果。目前對於結構內潔淨度的檢驗方法，與結構物內部潔淨度的微量檢驗，仍需要尋找或發展更精確且更有效的檢驗技術。

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