研究生: |
廖偉倩 Liao, Wei Chien |
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論文名稱: |
奈米3D微影技術應用於錐狀微結構之製作 Micro-cone Structure Fabrication by Nano 3D Lithography |
指導教授: |
傅建中
Fu, Chien Chung |
口試委員: |
劉席瑋
Liu, Hsia Wei 潘瑞文 Pan, Jui Wen 曾繁根 Tseng, Fan Gang 宋震國 Sung, Cheng Kuo |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
論文出版年: | 2016 |
畢業學年度: | 104 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 64 |
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