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研究生: 方聰偉
論文名稱: 微米級條紋式塗佈
指導教授: 汪上曉
劉大佼
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 化學工程學系
Department of Chemical Engineering
論文出版年: 2003
畢業學年度: 91
語文別: 中文
論文頁數: 61
中文關鍵詞: 條紋式塗佈條紋式塗佈視窗彩色濾光片條紋式塗佈缺陷微米級條紋式塗佈夾片製作
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  • 塗佈技術發展至目前為止已算是相當成熟的技術,尤其以單層塗佈而言,相關的塗佈視窗及塗佈缺陷已有不少文獻被提出,而對於條紋式塗佈(Stripe Coating)的研究卻一直無相關的研究報告,故本研究將針對條紋式塗佈進行研究,建立完整之條紋式塗佈視窗(Coating window),同時更進一步將條紋微小化,未來希望能將條紋式塗佈技術應用於光電產業上,例如彩色濾光片的製做等,或其它相關高科技產業上。
    本論文中,首先設計條紋微小化之左右共擠壓式模具及夾片,並利用微機電系統與精密加工及化學蝕刻兩種方法製作兩個設計相同但材質不同之夾片,且進行一系列之測試來確認條紋微小化夾片設計之可行性,結果亦如預期般,在適當的夾片、模具及流量控制下,可以得到條紋微小化之塗膜。本研究之構想將可更進一步完成相關之塗佈視窗研究,又或完成ABCABC左右共擠壓式塗佈之研究。

    在條紋式塗佈視窗建立上,主要以甘油水溶液進行研究,除了重覆單層塗佈實驗外,也特別針對條紋式塗佈進行一系列實驗。對於單層塗佈,除了證明其再現性外,其缺陷的觀察亦可做為條紋式塗佈的參考,而實驗也發現幾個常見的塗佈缺陷,如垂流(Dripping)、水窪(Pool)、橫向波(Ribbing)及破裂線(Break Line)等,都會在條紋式塗佈中出現。結果顯示,在AB等流量時,條紋式塗佈視窗除了在小流量下與單層塗佈有差異外,其餘皆之相近;當AB流量比相差甚大時,條紋寛度會因流量加大而變寛,而塗佈視窗大小並不受流量比之影響;當AB兩流體黏度不同時,塗佈視窗大小受限於黏度較大之塗佈視窗。以上之實驗結果將有助於清楚了解流體物性對條紋式塗佈視窗之影響。


    一、序論 7 一.1 平面顯示器簡介 7 一.2 塗佈技術 9 一.2.1 擠壓式及方塊式塗佈 9 一.2.2條紋式塗佈 10 一.3 研究方向 12 二、微米級條紋式塗佈 13 二.1 微機電系統製程簡介 13 二.1.1乾蝕刻(Dry Etching) 13 二.1.2 濕蝕刻(Wet Bulk Etching) 17 二.2. 矽晶圓夾片設計與製作 21 二.2.1. 設計圖 21 二.2.2. 流場分析 25 二.2.3 夾片製作流程 26 二.2.4 製作結果 29 二.3 不□鋼夾片設計與製作 33 二.3.1 夾片設計 33 二.3.2 製作結果 35 二.3.3 矽晶圓與不□鋼之比較 36 二.4 夾片測試 37 二.5.1 模具製作 37 二.5.2 測試步驟 38 二.5.3 測試結果與討論 39 三、條紋式塗佈視窗 41 三.1 簡介 41 三.2 實驗量測方法: 42 三.2.1 實驗裝置 42 三.2.2 黏度與表面張力之量測: 43 三.2.3 幾何參數與操作變數: 44 三2.4 實驗步驟: 44 三.3 實驗結果與討論 45 三.3.1 ABAB型條紋式塗佈缺陷之特徵 45 三.3.2 ABAB型條紋式塗佈視窗 50 三.3.3 不同流量比之條紋塗佈視窗 54 三.3.4 不同黏度之條紋塗佈視窗 56 三.4 結論 58 四、結論 60 參考文獻 61

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