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| 研究生： |
賴育晟 Lai, Yuh-Cherng |
|---|---|
| 論文名稱： |
水熱法壓電薄膜轉移於矽晶圓之通用PMUT製程開發與實現 Development and Realization of a Universal PMUT Fabrication Process by Transferring a Hydrothermally Piezoelectric Layer onto a Silicon Substrate |
| 指導教授： |
馮國華
Feng, Guo-Hua 李昇憲 Li, Sheng-Shian |
| 口試委員: |
傅建中
Fu, Chien-Chung 邱一 Chiu, Yi |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 147 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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全文公開日期 2028/09/04 (校內網路)全文公開日期 2028/09/04 (校外網路)
全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)