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| 研究生： |
王坤池 Wang, Kun Chih |
|---|---|
| 論文名稱： |
電子迴旋共振式化學氣相沉積及電漿輔助式化學氣相沉積 化複晶矽薄膜之研究 STUDIES ON HYDROGENATED POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILMSOSITED BY ECR-CVD AND PE-CVD |
| 指導教授： |
黃惠良;游萃蓉
Hwang Huey Liang;Yew Tri Rung |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 83 |
| 語文別： | 英文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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