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| 研究生： |
傅鈺閔 Fu, Yu-Min |
|---|---|
| 論文名稱： |
具高介電常數之超晶格變比例氧化鉿鋯之矽奈米片環繞式閘極場效電晶體之研究 Study of Silicon Nanosheets Gate-All-Around Field-Effect Transistors with High Dielectric Constant Hf1-xZrxO2 Superlattice |
| 指導教授： |
吳永俊
Wu, Yung-Chun |
| 口試委員: |
胡心卉
HU, HSIN-HUI 侯福居 Hou, Fu-Ju |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
半導體研究學院 - 半導體研究學院 College of Semiconductor Research |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 69 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2027/07/30 (校內網路)全文公開日期 2027/07/30 (校外網路)