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| 研究生： |
黃震麟 Huang, Cheng-Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
低介電係數材料應用於銅導線內連接製程之電阻電容時間延遲研究 Study of Low-k Dielectric RC delay time of Cu Dual Damascene Interconnect |
| 指導教授： |
賴志煌
Lai, Chih-Huang |
| 口試委員: |
鍾朝安
Jong, Chao-An 吳耀銓 Wu, Sermon 廖建能 Liao, Chien-Neng 甘炯耀 Gan, Jon-Yiew |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2013 |
| 畢業學年度： | 101 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 271 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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