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| 研究生： |
卓煜盛 Yu-Sheng Cho |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用於超大型積體電路之氧化鉭電容器其電性與可靠性的研究 The Electrical Characterization and Reliability Study of Metal-Ta2O5-Silicon Capacitors for Very Large Scale Integrated (VLSI) MOS Gate Oxide Applications |
| 指導教授： |
李雅明
Joseph Ya-Min Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 91頁 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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