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| 研究生： |
楊文呈 Yang, Wen-Cheng |
|---|---|
| 論文名稱： |
背面微影技術製作高深寬比微結構與應用 High-Aspect-Ratio Microstructures Fabricated by Backside Lithography and Their Application |
| 指導教授： | 傅建中 |
| 口試委員: |
許博淵
孟心飛 湯學成 陳致真 |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2013 |
| 畢業學年度： | 101 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 136 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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