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研究生: 趙桂生
Chao, Gui-Sheng
論文名稱: 相容於先進CMOS後段製程之新型高電容值奈米針型陣列電容器
A New Via Pin Array Capacitor (VPAC) with High Capacitance Built in Advanced CMOS Logic BEOL Technology
指導教授: 林崇榮
Lin, Chrong-Jung
口試委員: 金雅琴
King, Ya-Chin
池育德
Chih, Yue-Der
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 電子工程研究所
Institute of Electronics Engineering
論文出版年: 2023
畢業學年度: 111
語文別: 中文
論文頁數: 100
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  • 無法下載圖示 全文公開日期 2028/07/02 (校內網路)
    全文公開日期 2028/07/02 (校外網路)

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