研究生: |
趙桂生 Chao, Gui-Sheng |
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論文名稱: |
相容於先進CMOS後段製程之新型高電容值奈米針型陣列電容器 A New Via Pin Array Capacitor (VPAC) with High Capacitance Built in Advanced CMOS Logic BEOL Technology |
指導教授: |
林崇榮
Lin, Chrong-Jung |
口試委員: |
金雅琴
King, Ya-Chin 池育德 Chih, Yue-Der |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
論文出版年: | 2023 |
畢業學年度: | 111 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 100 |
相關次數: | 點閱:1 下載:0 |
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