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研究生: 姜傑升
Jiang, Jie-Sheng
論文名稱: 具差動式靜電致動的壓阻式CMOS-MEMS共振器設計
Piezoresistive CMOS-MEMS Resonators with Differential Electrostatic Actuation
指導教授: 李銘晃
Li, Ming-Huang
口試委員: 李昇憲
Li, Sheng-Shian
李尉彰
Li, Wei-Chang
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 動力機械工程學系
Department of Power Mechanical Engineering
論文出版年: 2022
畢業學年度: 110
語文別: 中文
論文頁數: 80
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