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| 研究生： |
陳遂泓 S.H.Chen |
|---|---|
| 論文名稱： |
複晶矽中磷或砷對硼在超薄氧化層中穿透效應之研究 Effects of Phosphorus or Arsenic Co-Implant in Polysilicon Gate on Boron Penetration in MOS Devices |
| 指導教授： |
徐清祥
C.C.-H.Hsu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 82 |
| 語文別： | 英文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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