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| 研究生： |
謝明玹 Ming-Hsuan Hsieh |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用光輔助化學氣相沉積技術在低溫下製作VLSI銅連接之銅膜 The Study of Cu Films Deposited by Photo-Assisted CVD at Low Temperature |
| 指導教授： |
黃惠良
Huey-Liang Hwang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 50 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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