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| 研究生： |
邱彥凱 Yan-Kai Chiou |
|---|---|
| 論文名稱： |
原子層化學氣相沉積之高介電薄膜於金屬-氧化物-半導體與金屬-絕緣層-金屬結構下之應用 Atomic Layer Deposition of High-k Thin Films used for Metal-Oxide-Semiconductor and Metal-Insulator-Metal application |
| 指導教授： |
吳泰伯
Tai-Bor Wu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2007 |
| 畢業學年度： | 95 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 186 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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