Single EWMA 控制器在動態模型下之績效分析｜國立清華大學博碩士論文庫

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研究生：	林資程 Tzu-Cheng Lin
論文名稱：	Single EWMA 控制器在動態模型下之績效分析
指導教授：	曾勝滄 Sheng-Tsaing Tseng
口試委員:
學位類別：	碩士 Master
系所名稱：	理學院 - 統計學研究所 Institute of Statistics
論文出版年：	2004
畢業學年度：	92
語文別：	中文
論文頁數：	39
中文關鍵詞：	批次控制、動態模型、製程干擾、Single EWMA 控制器、穩定條件、折扣因子
外文關鍵詞：	RbR process control, Dynamic model, process disturbance, stability condition, discount factor
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批次控制是針對IC製程之特殊生產型態所發展出來的製程回饋控制工具。一般而言，由於投入變數可調整之範圍很窄，因此製程之投入-產出模型，大多用一靜態線性模型來描述之。然而實際製程之投入-產出模型應與時間有關之動態模型。因此，在兩種最常見的動態模型之假設下，若採用傳統的EWMA回饋控制器來對投入變數做微調機制時，本文分別探討此控制器的穩定條件並決定其最佳折扣因子等決策問題，最後，本文亦進行敏感度分析，來探討動態模型中參數變動對TMSE之影響。

第一章  簡介                                             1
    1.1  前言                                            1
    1.2  研究動機                                        2
    1.3  研究架構                                        3

第二章  Single EWMA控制器及動態模型之文獻回顧與問題描述  5
    2.1  Single EWMA回饋控制器                           5
    2.2  動態模型-轉換函數                               5
    2.3  問題描述                                        5

第三章  動態系統下的Single EWMA控制器                   11
    3.1 動態系統下模型(I)之Single EWMA控制器            11
        3.1.1  製程產出及其穩定性質                     11
        3.1.2  最佳折扣因子的選取                       15
        3.1.3  敏感度分析                               19
    3.2 動態系統下模型(II)之Single EWMA控制器           22
        3.2.1  製程產出及其穩定性質                     22
        3.2.2  最佳折扣因子的選取                       24
        3.2.3  敏感度分析                               26

第四章  結論與後續研究                                  29

附錄                                                    31

參考文獻                                                39

                                

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[6] 李水彬 “多變量 EWMA 控制器設計之研究”。國立清華大學統計學研究所博士論文，2001。

全文公開日期本全文未授權公開 (校內網路)
全文公開日期本全文未授權公開 (校外網路)

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