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| 研究生： |
施亭安 Shih, Ting-An |
|---|---|
| 論文名稱： |
金屬鉿團簇與錫團簇光阻材料之合成並應用於極紫外光及電子束微影 Synthesis Hafnium and Tin Clusters Photoresist Materials and Applied to Extreme Ultraviolet and Electron Beam Photolithography |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
邱博文
Chiu, Po-Wen 許博淵 Shew, Bor-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 204 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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全文公開日期 2026/07/25 (校內網路)全文公開日期 2026/07/25 (校外網路)