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| 研究生： |
羅培修 Luo,Pei Siou |
|---|---|
| 論文名稱： |
間接式電容耦合氫氣/氬氣電漿研究 -實驗探討與電漿模擬分析 Study of Indirect Capacitively Coupled Hydrogen/Argon Plasma Discharge -Experimental Study and Simulation Analysis |
| 指導教授： |
柳克強
Keh-Chyang Leou |
| 口試委員: |
林明緯
張家豪 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2017 |
| 畢業學年度： | 105 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 105 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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