簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
宋柏諭 Sung, Po-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
金屬氮化緩衝層與電漿浸潤式離子佈植對矽鍺鰭式場效電晶體電特性影響之研究 Effects of Metal Nitride Buffer Layers and Plasma Immersion Ion Implantation on Electrical Characteristics of SiGe FinFET |
| 指導教授： |
張廖貴術
Chang-Liao, Kuei-Shu |
| 口試委員: |
趙天生
Chao, Tien-Sheng 羅廣禮 Luo, Guang-Li |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 101 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 2029/07/09 (校內網路)全文公開日期 2029/07/09 (校外網路)