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| 研究生： |
張豪麟 Holin Chang |
|---|---|
| 論文名稱： |
場發射式能量過濾電鏡對積體電路元件線路中擴散障礙層失效之研究 Failure Analysis of Diffusion Barrier Layer in VLSI Deviceby Field Emission Gun Energy Filter TEM |
| 指導教授： |
萬其明;陳福榮
C.M. Wan;F.R. Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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