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| 研究生： |
陳志平 CHEN,ZHI-PING |
|---|---|
| 論文名稱： |
鉭矽化合物在砷化鎵上之電漿蝕刻和活性離子蝕刻的研究 |
| 指導教授： |
葉鳳生
YE,FENG-SHENG 丁坤山 DING,KUI-SHAN |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 78 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 64 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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