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| 研究生： |
周偉仁 Chou, Wei-Zen |
|---|---|
| 論文名稱： |
ECR PCVD製作之非晶形矽碳膜微結構及物性研究 Microstructure and Physical Properties of a-SiC:H Prepared by ECR PCVD |
| 指導教授： |
周麗新
Chou, Lih-Hsin |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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