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| 研究生： |
周文俊 Wen-Jun Chou |
|---|---|
| 論文名稱： |
物理氣相沉積法製備金屬氮化物薄膜製程與性質之研究 Processing and Properties of Metal Nitride Thin Films Deposited by PVD Methods |
| 指導教授： |
黃嘉宏
Jia-Hong Huang 喻冀平 Ge-Ping Yu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 166 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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