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| 研究生： |
施宏沅 Shih, Hung-Yuan |
|---|---|
| 論文名稱： |
以TiN與雙層HfZrOx堆疊結構實現鐵電電容之低操作電壓與多位元儲存能力 Achievement Of Low TLC Operation Voltage For Ferroelectric Capacitor By Laminate HfZrOx-TiN-HfZrOx Structure |
| 指導教授： |
巫勇賢
Wu, Yung-Hsien |
| 口試委員: |
吳永俊
Wu, Yung-Chun 李耀仁 Lee, Yao-Jen |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 57 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2028/07/29 (校內網路)全文公開日期 2028/07/29 (校外網路)