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研究生: 蔡慶銘
Tsai, Ching Ming
論文名稱: 化學氣相沉積反應器中之粒子沉積及所形成微結構特性與有效輸送性質之探討
Particle Deposition, Resulting Microstructure, and Effective Transport Properties in such Microstructure within Chemical Vapor Deposition Reactors
指導教授: 呂世源
S.Y. Lu
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 化學工程學系
Department of Chemical Engineering
畢業學年度: 85
語文別: 中文
論文頁數: 159
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