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| 研究生： |
吳沛錤 Wu, Pei-Chi |
|---|---|
| 論文名稱： |
合成部分羥基化的六錫氧化物團簇及混合材料並探討其作為光阻劑於電子束微影之性能 Synthesis of Partially Hydroxylated 6-Tin Oxide Clusters and Blending Materials and Study on Photoresist Performance in Electron Beam Lithography |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
高蔡勝
Gau, Tsi-Sheng 林俊宏 Lin, Chun-Hung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 165 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2029/07/31 (校內網路)全文公開日期 2029/07/31 (校外網路)