研究生: |
蔡函璁 Tsai, Han-Tsung |
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論文名稱: |
開發六錫金屬團簇及混合材料並應用於電子束與極紫外光微影 Development of 6-Tin-oxo Cluster and Blending Materials and Applied to e-beam and EUV Lithography |
指導教授: |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
口試委員: |
邱博文
Chiu, Po-Wen 高蔡勝 Kao, Tsai Sheng 林俊宏 Lin, Chun-Hung |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
論文出版年: | 2022 |
畢業學年度: | 110 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 212 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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