研究生: |
毛慶宜 Ching-Yi Mao |
---|---|
論文名稱: |
0.25*0.25 um^2 氮化鈦/鋁-矽-銅/氮化鈦/二矽化鈦/P+/N 接觸結構可靠度問題之研究 Study on reliability issues of 0.25*0.25 um^2 TiN/Al-Si-Cu/TiN/TiSi2/P+/N contact structure |
指導教授: |
黃惠良
Huey-Liang Hwang 吳幼麟 You-Lin Wu |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
畢業學年度: | 87 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 78 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
分享至: |
查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |