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| 研究生： |
常皓翔 Chang, Hao-Hsiang |
|---|---|
| 論文名稱： |
高性能三根堆疊鍺菱形奈米線環繞式閘極電晶體利用臭氧修復介面缺陷與氧化鉿鋯鐵電應用 High Performance Three Stacked Ge Diamond-shape Nanowires GAAFET Using Ozone Treatment for Reducing Interfacial Defects and Ferroelectric HfZrO2 application |
| 指導教授： |
吳永俊
Wu, Yung-Chun 侯福居 Hou, Fu-Ju |
| 口試委員: |
朱鵬維
Chu, Peng-Wei 林育賢 Lin, Yu-Hsien |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 74 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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全文公開日期 2025/08/23 (校內網路)全文公開日期 2025/08/23 (校外網路)