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研究生: 管庭愷
Kuan, Ting-Kai
論文名稱: 以低溫氧化鍺縮合對矽鍺鰭式場效電晶體之電特性研究
Ge Condensation by low Temperature Oxidation on Electrical Characteristics of SiGe FinFET
指導教授: 張廖貴術
Chang-Liao, Kuei-Shu
口試委員: 羅廣禮
Luo, Guang-Li
趙天生
Chao, Tien-Sheng
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 原子科學院 - 工程與系統科學系
Department of Engineering and System Science
論文出版年: 2024
畢業學年度: 112
語文別: 中文
論文頁數: 103
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  • 無法下載圖示 全文公開日期 2029/06/26 (校內網路)
    全文公開日期 2029/06/26 (校外網路)

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