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研究生: 劉健群
論文名稱: 多維積體化多工晶片應用於大陣列微機電系統驅動與控制
Multi-Dimensional Architecture of Multiplexing Data Registration and Control For Large Array MEMS
指導教授: 曾繁根
口試委員:
學位類別: 博士
Doctor
系所名稱: 工學院 - 奈米工程與微系統研究所
Institute of NanoEngineering and MicroSystems
論文出版年: 2009
畢業學年度: 97
語文別: 中文
論文頁數: 247
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