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| 研究生： |
吳鈞雄 Wu, Jiun-Shiung |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用於先進鰭式電晶體邏輯製程之接觸槽耦合浮動閘極電漿充電損害偵測元件研究 A Study of Plasma Induced Damage Monitor by Contact Slot Floating Gate Coupling in advanced FinFET Logic CMOS Technology |
| 指導教授： |
林崇榮
Lin, Chrong-Jung |
| 口試委員: |
金雅琴
施教仁 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2015 |
| 畢業學年度： | 103 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 71 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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