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| 研究生： |
楊佳翰 Yang, Chia-Han |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用雙光子微影技術於晶圓級邊緣耦光模組之製造方法設計與開發 Fabrication Process Design and Development of Wafer-Level Edge-Coupled Probing Module with Two-Photon Lithography |
| 指導教授： |
傅建中
Fu, Chien-Chung |
| 口試委員: |
李三良
Lee, San-Liang 鄭正元 Jeng, Jeng-Ywan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 74 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2029/07/03 (校內網路)全文公開日期 2029/07/03 (校外網路)