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| 研究生： |
葉賢基 |
|---|---|
| 論文名稱： |
次奈米雷射測長與次奈米即時定位控制之研究 = Study in subnanometer laser metrology and subnanometer real-time motion control |
| 指導教授： | 倪維斗(Wei-Tou Ni) |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
理學院 - 物理學系 Department of Physics |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 181 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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