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| 研究生： |
陳道一 DOU-I CHEN |
|---|---|
| 論文名稱： |
蓮蓬頭式電漿輔助化學氣相沉積系統之建造與應用 DEVELOPMENT OF PECVD SYSTEM USING SPECIALLY DESIGNED SHOWERHEAD AND ITS APPLICATIONS |
| 指導教授： |
黃惠良
HUAY-LIANG HWANG |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 49 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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