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| 研究生： |
龔能輝 |
|---|---|
| 論文名稱： |
氧化鉭薄膜應用於超大型積體電路閘極氧化層之電性分析 An Investigation on the Electrical Characteristics of Tantalum Oxide for the Application of ULSI Gate Insulator |
| 指導教授： | 李雅明 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 37 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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